중앙대학교

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미래를 여는 첨단 기계공학부의 소식을 전해드립니다. 학교전경사진

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수업 공지사항

마이크로시스템패키징특론(김종민교수님) 강의자료 (2)

2015-09-20   |   1,854
0 (1)MSP-MEMS Process(I)-Wafer fabrication, Thin film process (PVD,CVD,Thermal oxidation).pdf (1.3M)   2015.09.20 0 (2)MSP-MEMS Process(II)-Thin film process (Photolithography, Etching), Bonding.pdf (2.5M)   2015.09.20
마이크로시스템패키징특론(김종민교수님) 강의자료 (2)입니다.
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